Edwards iH 干泵為高難度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品)提供高度、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級主泵,使用的懸臂式轉子、爪式和羅茨設計,可改善粉塵的處理,減少排氣噪音。此外,iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和封閉的水冷卻電機。
Edwards 級半導體真空泵已經(jīng)過(guò)現場(chǎng)應用證明,可以按照高工作標準運行。通過(guò)延長(cháng)使用壽命、提高運行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)大程度地減小占地面積、降低運行成本,實(shí)現了高的性和性能。
iH 系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。
功能和優(yōu)勢
優(yōu)化了設施消耗。
無(wú)需預防性維護。
懸臂軸和的異型轉子便于顆粒的處理。
在節省電機功率的同時(shí)大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的。
整體式軸桿無(wú)需使用電機聯(lián)結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。
應用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
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